不同的VOCS廢氣成分、濃度適用不同的VOCS工業廢氣處理方式，目前綜合技術成熟性、經濟性以及設備維護等多方面因素，應用廣泛的還是活性炭吸附法。但是活性炭吸附法存在適用期限到后廢活性炭洗脫回收成本大、存在污染轉移等缺點，因此新型VOCS工業廢氣處理的吸附催化燃燒法已在技改中或新建項目中被普遍應用。而低溫等離子凈化法因其后期維護成本低等優點正受到越來越多企業的青睞，但也存在設備投資成本高等問題。相信隨著技術和工業的發展，低溫等離子凈化技術會越來越成熟，VOCS工業廢氣處理設備投資也會隨之下降，屆時將會得到普遍應用。