VOCS工業廢氣處理設備中的活性炭凈化原理是當有機廢氣正壓或負壓進入活性炭吸附器塔體，由于活性炭固體表面上存在著未平衡和未飽和的分子引力，當活性炭與氣體接觸后，就能吸引氣體分子，使其濃聚并保持在固體表面，污染物質從而被吸附，廢氣經過濾器后，進入設備排塵系統，凈化氣體高空達標排放。

　　VOCS工業廢氣處理活性炭吸收飽和后，還可以通過熱再生的方式進行恢復活性，熱再生也是目前工藝比較成熟，處理效果高。在處理過程中，需要注意的是高溫加熱再生裝置要解決碳粒相互粘結，燒結要注意通道的堵塞。