VOCS工業廢氣處理方法有熱破壞法、吸附法和生物處理法三大方法，其中又包含著生物除臭工藝、低溫等離子體技術、有機廢氣處理工藝、高能離子技術、吸附催化燃燒、RTO蓄熱式氧化爐、光催化氧化工藝、化學吸收工藝、植物液除臭工藝。

　　VOCS廢氣處理方法中的熱破壞法是指直接和輔助燃燒有機氣體，或利用合適的催化劑加快VOCS的化學反應，終達到降低有機物濃度，使其不再具有危害性的一種處理方法。熱破壞法隊與濃度較低的有機廢氣處理效果比較好，因此，在處理低濃度廢氣中得到了廣泛應用。